Эволюция МЭМС-продуктов компании Analog Devices и современные инерциальные измерительные модули iSensor

Введение

Разработку технологий производства интегральных датчиков ускорения на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) компания Analog Devices (ADI) начала в конце 80‑х годов прошлого века, для чего было сформировано отделение MEMS Division of Analog Devices в городе Уилмингтон (штат Массачусетс). Под руководством доктора Ричарда Пэйна (Dr. Richard Payne) группа инженеров отделения создавала технологию емкостных датчиков ускорения поверхностного типа, формируемых в едином технологическом процессе с узлами обработки сигналов полупроводниковых микросхем.

Поверхностными называют датчики, позволяющие детектировать ускорение в плоскости, параллельной поверхности кристалла микросхем, на которых они расположены. Датчики ускорения этого типа, в отличие от объемного травления, получаются методом поверхностной микрообработки, поэтому они позволяют детектировать ускорение по двум осям на поверхности. Первый интегральный датчик ускорения ADXL50 (цифра 50 означает диапазон измеряемых ускорений ±50 g), чей прототип был продемонстрирован компанией в 1989 году, представлял собой конденсаторную систему, обкладки которой сформированы на подложке кристалла интегральной микросхемы в едином технологическом процессе с компонентами самой микросхемы.

Рис. 1. Структура кристалла микросхемы ADXL50

На рис. 1 показана структура кристалла микросхемы ADXL50, размеры кристалла 3×3 мм, размеры датчика ускорения в центре кристалла 500×625 мкм, микросхема выполнена в металлическом корпусе ТО‑100, ось чувствительности лежит в плоскости, параллельной основанию микросхемы в направлении ключа (рис. 2).

Рис. 2. Микросхема ADXL50 без крышки

На рис. 3 схематично показано устройство одной ячейки датчика (всего 42 ячейки), при возникновении ускорения в направлении оси чувствительности подвижная инерциальная масса датчика, связанная с подвижными обкладками конденсаторной системы, отклоняется от исходного положения, в результате чего изменяются значения емкостей CS1, CS2. Изменения этих емкостей регистрируются дифференциальной измерительной схемой, преобразующей величину ускорения в изменения выходного напряжения.

Рис. 3. Устройство ячейки емкостного датчика

Массовое производство акселерометра ADXL50 началось в 1991 году, его широко применяли в системах управления подушками безопасности автомобилей, защищающими водителя при авариях. Стоимость существовавших прежде систем активации подушек безопасности находилась в пределах $400–600 (до 1990 года), использование ADXL50 снижало цену до $50–80, благодаря чему этот акселерометр стал первым массовым прибором, изготовлявшимся многомиллионными тиражами (отпускная цена микросхем в больших партиях не превышала $10–12) [1].

В 1995 году компания представила более чувствительный акселерометр ADXL05, сферы применения которого были значительно расширены. Прибор мог измерять не только ускорения, но и угол наклона относительно плоскости земной поверхности, скорость, расстояния, вибрацию и ударную нагрузку. Все измерения косвенные и возможны после проведения калибровки в исходном состоянии. Микросхема выполнена в таком же корпусе и совместима по выводам с ADXL50, выбираемый пользователем диапазон измерений может находиться в пределах от ±1 до ±5 g, а чувствительность от 200 мВ/g до 1 В/g.

Функциональная схема измерителя ускорений на основе ADXL05 и ряда других акселерометров компании приведена на рис. 4. Противофазные импульсы генератора несущей с частотой 1 МГц (Carrier Generator на рис. 1) поступают на неподвижные обкладки конденсаторной системы поверхностного датчика ускорения. При отсутствии ускорения и в горизонтальном положении микросхемы на подвижных обкладках конденсаторной системы импульсы несущей отсутствуют, при отклонении инерциальной массы под воздействием ускорения или силы тяжести на выходе буферного усилителя появляются положительные или отрицательные импульсы в зависимости от направления ускорения. Сигнал с выхода усилителя подается на фазочувствительный демодулятор, преобразующий ВЧ-импульсы в низкочастотные сигналы с полосой до 10 кГц (определяется полосой пропускания ФНЧ). Для снижения влияния внешних воздействий и отклонений параметров элементов в схему введена отрицательная обратная связь через резистор сопротивлением 3 МОм на подвижные обкладки датчика [2].

Рис. 4. Функциональная схема измерителя ускорения

В 1996 году компания выпустила первые акселерометры с торговой маркой iMEMS (Integrated MEMS) — ADXL150 (одноосевой) и ADXL250 (двухосевой). Одним из основных отличий приборов iMEMS является более высокая степень интеграции, в связи с чем для их работы нужен только один внешний конденсатор фильтра по цепи питания. Двухосевой прибор ADXL250 характеризуется наличием дополнительного датчика ускорения, расположенного перпендикулярно к другому, в результате чего у него имеется дополнительная ось чувствительности A_Y (рис. 5) [3].

Рис. 5. Микросхемы ADXL150/250

Для работы в цифровых измерительных системах выходные сигналы аналоговых акселерометров обычно преобразовываются в цифровую форму с помощью АЦП, устанавливаемых рядом с ними, что в случае их удаленного расположения негативно сказывается на эффективности из-за повышенного энергопотребления. В 1998 году ADI выпустила первый в мире коммерческий двухосевой акселерометр ADXL202 с током потребления 0,6 мА и возможностью непосредственного подключения к микропроцессорам измерительных систем. В приборе используется косвенный метод измерения при помощи модуляции DCM (Duty Cycle Modulation). Выходные сигналы микросхемы представляют собой импульсную последовательность, коэффициент заполнения импульсов D которой пропорционален ускорению. D = 50% (скважность S = 2) соответствует нулевому ускорению, чувствительность прибора 12,5%/g, возможно измерение ускорения с разрешением 5 мg, а также углов наклона с точностью ±1° [4].

В 2005 году компания выпустила первый трехосевой акселерометр ADXL330, выполненный в миниатюрном корпусе LFCSP‑16 размерами 4×4×1,5 мм на основе датчика ускорения iMEMS (вид на плате на рис. 6). Прибор отличается малым токопотреблением (200 мкА) при низком напряжении питания (1,8–3,6 В), диапазон измерения ускорений ±3 g, чувствительность 300 мВ/g. Микросхема характеризуется высокой стойкостью к внешним воздействиям: диапазон рабочих температур –55…+125 °C; допустимые ударные нагрузки до 10 000 g, это позволяет использовать приборы в аппаратуре специального назначения с жесткими условиями эксплуатации.

Рис. 6. Микросхема ADXL330 на плате

В 2002 году ADI выпустила первый в мире интегральный МЭМС-гироскоп ADXRS150, выполненный по технологии iMEMS. В качестве чувствительного элемента в микросхеме применен емкостный вибрационный датчик угловой скорости с чувствительностью ±150 °/с. Микросхема выполнена в корпусе CSPBGA‑32 размерами 7×7×3,2 мм, при горизонтальном положении корпуса прибор может регистрировать углы рыскания (Yaw Rate) при поворотах вокруг вертикальной оси Z (рис. 7). Прибор отличается низким уровнем шума (0,05 °/с/√Гц) и высоким подавлением вибраций [5].

Рис. 7. Микросхема ADXRS150

В 2006 году компания выпустила программируемый одноосевой Yaw Rate гироскоп ADIS16250 семейства iSensor, в корпус LGA‑20 прибора размерами 11×11×5,5 мм интегрированы емкостные датчики iMEMS, системы аналоговой и аналого-цифровой обработки сигналов, а также датчик температуры. Выходные данные угловой скорости передаются через последовательный 14‑разрядный интерфейс SPI (данные о температуре — через 12‑разрядный).

Актуальные продукты

В последующие годы номенклатура МЭМС-продуктов компании продолжала интенсивно расширяться. При этом многие инерциальные приборы разработки 2004–2009 годов по-прежнему были популярны у потребителей и включались в продуктовые каталоги вплоть до 2015 года. По мере усложнения выпускаемых инерциальных МЭМС-продуктов их во многих случаях уже некорректно называть просто датчиками ускорения и гироскопами. По терминологии компании многофункциональные МЭМС-приборы получили названия подсистем акселерометров, гироскопов и инерциальных измерительных модулей семейства iSensor с общим обозначением ADIS. Подробно рассмотреть в одной статье приборы этих категорий нереально, поэтому здесь приведены основные данные и особенности наиболее сложных и многофункциональных продуктов компании — инерциальных измерительных модулей. Аналоговые и цифровые акселерометры, гироскопы и подсистемы iSensor требуют отдельного описания. МЭМС-продукты, представленные в различных категориях каталога компании за 2015 год, перечислены далее [6].

МЭМС-акселерометры

В эту категорию включено 27 типов аналоговых и цифровых акселерометров, как широкого применения, так и специального назначения с рабочим диапазоном температур от –40/–55 до +105/+125 °C. А микросхема ADXL206 обеспечивает гарантированную наработку 1000 ч в диапазоне температур от –40 до +175 °C.

МЭМС-гироскопы

Представлено 13 типов одно- и двухосевых аналоговых и цифровых гироскопов с диапазоном измерения угловых скоростей от 100 до 20 000 °C/с широкого применения (Тр = –40…+85 °C) и специального назначения (Тр = –40/–55…+105/+125 °C). Микросхема ADXRS645 обеспечивает гарантированную наработку 1000 ч при температуре в диапазоне от –40 до +175 °C.

Подсистемы МЭМС-акселерометров iSensor

В данную категорию входят 12 типов приборов, предназначенных для измерения ускорений, углов наклона, вибрации и ударных нагрузок. Кроме собственно измерительных датчиков и схем обработки сигналов, в приборы включены дополнительные цифровые и комбинированные устройства для решения конкретных задач.

Трехосевой инклинометр и акселерометр ADIS16210 (рис. 8) обеспечивает измерение углов наклона в пределах ±180° в плоскостях крена (Х) и тангажа (Y) и ±90° в плоскости гравитации (Z). На рис. 9 показано положение прибора при наклоне +30° по оси Y, в этом положении по оси Х нулевой наклон, по оси Z — положительное значение угла наклона. Относительная точность измерения углов наклона ±0,1°, возможно также измерение ускорений в трех плоскостях в диапазоне ±1,7 g и температуры. Прибор отличается большим набором программируемых пользователем функций, что позволяет применять его для точного управления и стабилизации платформ, измерения угловых перемещений и уровней, параметров движения объектов и навигации.

Рис. 8. Прибор ADIS16210

Рис. 9. Наклон прибора ADIS16210

Датчик вибраций ADIS16228 (рис. 10) построен на основе комбинации трехосевого акселерометра и средств обработки сигнала во временной и частотной областях. Обработка в частотной области осуществляется с использованием алгоритма быстрого преобразования Фурье (БПФ) на 512 точках, выполняемых по каждой оси измерения с усреднением результатов БПФ. Функции обработки сигнала во временной области включают программируемый децимирующий фильтр и возможность выбора пользователем оконной функции.

Рис. 10. Прибор ADIS16228

Подсистемы МЭМС-гироскопов iSensor

Представлено 9 типов приборов, обеспечивающих измерение угловых скоростей и сбор данных в автономном режиме и не требующих внешних команд конфигурирования. Как правило, возможно автоматическое и ручное управление коррекцией смещения. Последовательный периферийный интерфейс SPI и набор внутренних регистров упрощают доступ к настройкам конфигурации и откалиброванным изменениям датчика во встраиваемых процессорных платформах. Приборы ADIS16133/135/136/137 конструктивно выполнены в виде модулей размерами 44×35,6×13,8 мм (рис. 11) и характеризуются низкой плотностью шумов, широкой полосой пропускания и высокой стабильностью смещения нуля в установившихся рабочих условиях. Приборы могут быть успешно использованы в задачах управления платформами, навигации, робототехнике и медицинской измерительной технике.

Рис. 11. Корпус гироскопов ADIS16133/135/136/137

МЭМС инерциальные измерительные модули iSensor (iSensor MEMS IMU)

В данную категорию входит 15 типов наиболее сложных приборов, представляющих собой многофункциональные и дорогостоящие (сотни долларов) измерительные системы на основе комбинаций многоосевых высокостабильных гироскопов, акселерометров, а также в ряде модулей, магнетометров, датчиков давления и температуры. Приборы этой категории способны измерять параметры движения по углам рыскания (Yaw Rate), крена (Roll Axis) и тангажа (Pitch Axis) и представляют собой готовые к использованию решения с высокой степенью интеграции, обладающие простым программируемым интерфейсом и полностью откалиброванные при изготовлении. Инерциальные измерительные модули iSensor обеспечивают надежное детектирование и измерение параметров движения с несколькими степенями свободы в задачах повышенной сложности и динамически меняющихся условиях.

Особенности перспективных измерительных модулей ADI, разработанных в 2010–2015 годах [7]:

• ADIS16488A (первая редакция спецификации 2015 года) — инерциальный датчик тактического класса с десятью степенями свободы. Модуль, выполненный в металлическом корпусе ML‑24-6 габаритами 44×47×14 мм (рис. 12), является полнофункциональной инерциальной измерительной подсистемой, содержащей трехосевые гироскоп, акселерометр и магнитометр, а также датчики давления и температуры, структура прибора приведена на рис. 13. Каждый из датчиков основан на комбинации технологий iMEMS и схем аналогового преобразования сигналов. При производстве модулей все датчики подвергаются калибровке чувствительности, смещения, взаимной ориентации осей и линейного ускорения. В результате каждому датчику соответствует индивидуальная формула динамической компенсации, обеспечивающая высокую точность измерений.

Рис. 12. Прибор ADIS16488A в корпусе ML 24-6

Рис. 13. Структура прибора ADIS16488A

Применение модуля в промышленных системах обеспечивает экономически более эффективный инструмент для интеграции многоосевых инерциальных измерений с малой погрешностью, чем применение отдельных датчиков. Порт SPI и набор внутренних регистров обеспечивают простой интерфейс для сбора данных и конфигурирования. Заводские калибровки параметров модулей ускоряют и упрощают их интеграцию в промышленные системы. Модули могут быть эффективно использованы в системах управления и стабилизации платформ, навигации, контроля за перемещением персонала, в измерительной технике и робототехнике. Основные особенности и параметры модуля:

• • гироскоп: диапазон угловых скоростей ±450 °/с по каждой оси; чувствительность 3,052×10^–7 °/с/LSB (LSB — единица младшего разряда); угловое отклонение ±0,05° (относительно других осей), ±1° (относительно корпуса); плотность шума 0,0059 °/с/√Гц в диапазоне 10–40 Гц; полоса пропускания 330 Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±18 g; чувствительность 1,221×10^–8g/LSB; плотность шума 0,063 мg/√Гц в диапазоне 10–40 Гц, полоса пропускания 330 Гц;
  • магнетометр: диапазон магнитных индукций ±2,5 Гс; чувствительность 0,1 мГс/LSB; плотность шума 0,042 мГс/√Гц в диапазоне 2–5 Гц, полоса пропускания 330 Гц;
  • барометр: диапазон давлений 300–1100 мбар (расширенный 10–1200 мбар); чувствительность 6,1×10^–7мбар/LSB; уровень шума 0,025 мбар (rms);
  • датчик температуры: масштабный коэффициент (Scale Factor) 0,00565 °C/LSB;
  • скорость преобразования данных 2,46 kSPS;
  • параметры питания: напряжение 3–3,6 В, ток потребления 245 мА (рабочий режим), 12,2 мА (спящий режим), 45 мкА (глубокий сон);
  • эксплуатационные параметры: диапазон рабочих температур от –55 до +105 °C (исполнение ADIS16488CMLZ), удары до 2000 g, давление до 2 бар.
• ADIS16445 (редакции спецификаций 2012–2014 гг.) — инерциальный измерительный модуль, включающий трехосевой гироскоп и трехосевой акселерометр, а также датчик температуры. Структура прибора, выполненного в корпусе ML‑20-3 размерами 24×37×11 мм, приведена на рис. 14, на рис. 15а показан внешний вид модуля с измерительными шлейфами (комплект ADIS16445/PCBZ), на рис. 15б — присоединительные размеры комплекта. Основные области применения модуля: управление и стабилизация платформ, навигационные системы, робототехника. Основные особенности и параметры прибора:

Рис. 14. Структура прибора ADIS16445

Рис. 15. Приборы:
а) ADIS16445 со шлейфами;
б) присоединительные размеры прибора ADIS16445AMLZ

• • гироскоп: диапазон угловых скоростей до ±250 °/с по каждой оси; чувствительность 0,0025–0,01 °/с/LSB; угловое отклонение ±0,05° (относительно других осей), ±0,5° (относительно корпуса); плотность шума 0,011 °/с/√Гц на частоте 25 Гц, полоса пропускания 330 Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±5 g; чувствительность 0,25 мg/LSB; плотность шума 0,105 мg/√Гц, полоса пропускания 330 Гц;
  • датчик температуры: чувствительность 0,07386 °C/LSB;
  • параметры питания: напряжение 3,15–3,45 В, ток потребления в рабочем режиме 74 мА;
  • эксплуатационные параметры: диапазон рабочих температур –40…+85 °C, удары до 2000 g.
• ADIS16448 (2012–2014 гг.) — полнофункциональная инерциальная измерительная подсистема, аналогичная прибору ADIS16488A, выполненная в корпусе ML‑20-3, аналогичном корпусу прибора ADIS16445, структура прибора соответствует приведенной на рис. 13. Рассмотрим отличающиеся от ADIS16488A особенности и параметры прибора:
  • гироскоп: диапазон угловых скоростей ±1200 °/с; чувствительность 0,01–0,04 °/с/LSB, плотность шума 0,0135 °/с/√Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±18 g; чувствительность 0,833 мg/LSB; плотность шума 0,23 мg/√Гц;
  • магнетометр: диапазон магнитной индукции ±1,9 Гс, чувствительность 140–145 мкГс/LSB;
  • барометр: диапазон давлений 300–1100 мбар; чувствительность 0,02 мбар/LSB;
  • датчик температуры: чувствительность 0,07386 °C/LSB;
  • питание: 3,15–3,45 В/76 мА;
  • эксплуатационные характеристики: диапазон рабочих температур –40…+85 °C, удары до 2000 g, давление до 2 бар.
• ADIS16485 (2012–2015 гг.) — инерциальная измерительная система с шестью степенями свободы. Структура прибора, выполненного в корпусе ML‑24-6, такая же, как у ADIS16445 (рис. 14). Основные особенности и параметры модуля:
  • гироскоп: диапазон угловых скоростей ±(450–480) °/с; чувствительность 3,052×10^–7 °/с/LSB, плотность шума 0,0066 °/с/√Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±5 g; чувствительность 3,815×10^–9g/LSB; плотность шума 0,055 мg/√Гц;
  • питание: 3–3,6 В, ток потребления 197 мА (рабочий режим), 12,2 мА (спящий режим), 37 мкА (глубокий сон);
  • эксплуатационные характеристики: диапазон рабочих температур –40…+105 °C, удары до 2000 g.
  • ADIS16480 (2012–2015 гг.) — инерциальная измерительная система с десятью степенями свободы и блоком цифровой обработки на основе фильтра Калмана. Структура прибора, выполненного в корпусе ML‑24-6, приведена на рис. 16. Присоединительные размеры и основные функциональные возможности модуля такие же, как у ADIS16488A, но с дополнительными возможностями, реализованными за счет применения расширенного фильтра Калмана (EKF — Extended Kalman Filter). Эти возможности обеспечивают высокую точность определения параметров ориентации: 0,3° по углу рыскания и 0,1° по углам тангажа (дифферента) и крена, основные характеристики прибора приведены в [8].

Рис. 16. Структура прибора ADIS16480

• ADIS16407 (2011 г.) — инерциальная измерительная система с десятью степенями свободы, структура модуля, выполненного в корпусе ML‑24-2 размерами 23×23×23 мм (внешний вид на рис. 17), соответствует приведенной на рис. 13. Основные особенности и параметры прибора:
  • гироскоп: диапазон угловых скоростей ±350 °/с; чувствительность 0,05 °/с/LSB; плотность шума 0,044 °/с/√Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±18 g; чувствительность 3,33 мg/LSB; плотность шума 0,5 мg/√Гц;
  • магнитометр: диапазон магнитной индукции ±3,5 Гс, чувствительность 0,5 мГс/LSB;
  • барометр: диапазон давлений 300–1100 мбар (расширенный 10–1200 мбар), чувствительность 0,3125 мкбар/LSB;
  • датчик температуры: чувствительность 0,14 °C/LSB;
  • питание: напряжение 4,75–5,25 В, ток потребления 70 мА в рабочем режиме, 1,4 мкА в спящем режиме;
  • эксплуатационные параметры: диапазон рабочих температур –40…+105 °C, удары до 2000 g, давление до 6 бар.

Рис. 17. Прибор ADIS16407

• ADIS16334 (2011–2013 гг.) — инерциальная измерительная подсистема с шестью степенями свободы (внешний вид соответствует рис. 15а), структура прибора, выполненного в корпусе ML‑20-1 размерами 24×33×11 мм, приведена на рис. 18. Основные особенности и параметры модуля:
  • гироскоп: диапазон угловых скоростей ±350 °/с; чувствительность 0,0125–0,05 °/с/LSB; плотность шума 0,04 °/с/√Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±5,25 g; чувствительность 1 мg/LSB; плотность шума 221 мкg/√Гц;
  • датчик температуры: масштабный коэффициент 0,0678 °C/LSB;
  • питание: напряжение 4,75–5,25 В, ток потребления 47 мА в рабочем режиме;
  • эксплуатационные параметры: диапазон рабочих температур –40…+105 °C, удары до 2000 g.

Рис. 18. Структура прибора ADIS16334

• ADIS16375 (2010–2012 гг.) — инерциальная измерительная подсистема с шестью степенями свободы. Структура прибора, выполненного в корпусе ML‑24-6 (как и ADIS16488A), приведена на рис. 19. Параметры, отличающиеся от соответствующих параметров прибора ADIS16334: чувствительность гироскопа 0,01311 °/с/LSB; плотность шума гироскопа 0,02 °/с/√Гц; диапазон ускорений ±18 g; чувствительность акселерометра 0,8192 мg/LSB; плотность шума акселерометра 0,06 мg/√Гц; масштабный коэффициент датчика температуры 0,00565 °C/LSB; питание 3–3,6 В/137 мА.

Рис. 19. Структура прибора ADIS16375

• ADIS16305 (2010–2014 гг.) — инерциальная измерительная система с четырьмя степенями свободы. В отличие от прибора ADIS16375 в данном модуле, выполненном в корпусе ML‑24-4 размерами 31×23×8 мм (внешний вид на рис. 20), применен одно-осевой гироскоп для определения углов рыскания в диапазоне ±350 °/с (чувствительность 0,05 °/с/LSB). Диапазон измеряемых ускорений ±3,6 g, чувствительность акселерометра 0,594–0,606 мg/LSB, плотность шума 340 мкg/√Гц. Напряжение питания 5 В, ток потребления 42 мА (в спящем режиме 0,5 мА). Диапазон рабочих температур –40…+85 °C.

Рис. 20. Прибор ADIS16305

• ADIS16367 (2010–2012 гг.) — инерциальная измерительная подсистема с шестью степенями свободы. Структура прибора, выполненного в корпусе ML‑24-2 (как ADIS16407), соответствует рис. 19 (как у ADIS16375). Основные особенности и параметры прибора:
  • гироскоп: диапазон угловых скоростей до ±1400 °/с; чувствительность 0,198–0,202 °/с/LSB; плотность шума 0,044 °/с/√Гц;
  • акселерометр: диапазон ускорений ±18 g; чувствительность 3,33 мg/LSB; плотность шума 0,5 мg/√Гц;
  • датчик температуры: масштабный коэффициент 0,136 °C/LSB;
  • питание: напряжение 4,75–5,25 В, ток потребления 49 мА в рабочем режиме, 0,5 мА в спящем режиме;
  • эксплуатационные характеристики: диапазон рабочих температур –40…+105 °C, удары до 2000 g.

В каталоге компании 2015 года представлены и более ранние (2008, 2009 гг.) подсистемы:

• ADIS16362, ADIS16364, ADIS16365 — шестиосевые инерциальные измерительные подсистемы в корпусе ML‑24-2.
• ADIS16405 — девятиосевая инерциальная измерительная подсистема в корпусе ML‑24-2.
• ADIS16300 — четырехосевая инерциальная измерительная подсистема в корпусе ML‑24-4.

Заключение

При выборе инерциальных измерительных МЭМС-модулей iSensor, рассмотренных в статье, кроме основных параметров, точностных и функциональных характеристик приборов, разработчикам систем на их основе также важны конструктивные особенности, цена и наличие исполнений для жестких условий эксплуатации. Конструктивные особенности приборов в основном определяются типами корпусов, всего предлагается пять типов корпусов, имеющих одинаковые габариты и присоединительные параметры:

• ML‑24-6 (рис. 12) используется в модулях ADIS16488A/16485/16480/16375. На рис. 21 показан внешний вид модуля, установленного на печатную плату, в качестве ответного соединителя используется розетка CLM‑112-02 компании Samtec (24 контакта). К плате модули крепятся четырьмя винтами М2×0,4 мм.

Рис. 21. Внешний вид модуля, установленную на печатную плату

• ML‑20-3 (рис. 15) — ADIS16445/16448, ответный соединитель CLM‑110-02 (20 контактов).
• ML‑24-2 (рис. 17) — ADIS16407/16367/16362/16364/16365/16405. На рис. 22 показан модуль, установленный на отладочной плате ADISUSBZ с интерфейсом USB, ответный соединитель CLM‑112-02 (24 контакта).

Рис. 22. Модуль, установленный на отладочной плате ADISUSBZ с интерфейсом USB

• ML‑24-1 (рис. 15) — ADIS16334, ответный соединитель CLM‑110-02 (20 контактов).
• ML‑24-4 (рис. 20) — ADIS16305/16300, ответный соединитель Samtec FTSH‑112-03 (24 контакта).

Ориентировочные цены модулей приведены на сайте компании [7] и находятся в пределах от $74 (ADIS16300) до $1545 (ADIS16480). Большинство исполнений модулей рассчитано на промышленный диапазон рабочих температур –40…+85 °C и «автомобильный» — –40…+105 °C, расширенный диапазон рабочих температур имеет исполнение ADIS16488BLMZ (–55…+105 °C).