Датчики Panasonic для электронной промышленности.
Инновационный подход к автоматизации

Введение

В последние годы на развитие электронной промышленности большое влияние оказал потребительский сегмент электроники, для которого характерны широкий ассортимент используемых в одном изделии компонентов, миниатюризация, большие объемы выпуска, частое обновление серий, сочетание высокого качества выпускаемой продукции с быстротой, технологичностью и низкой ценой производственных операций, сборки и контроля.

Одновременное удовлетворение всех этих, зачастую противоречивых требований, например в плане обеспечения и скорости и качества обработки измерений миниатюрных деталей, может дать только автоматизация технологических процессов производства, сборки и контроля, которая в современных условиях осуществляется с использованием разнообразных датчиков.

Выпуск печатных плат, пластин ИС и МЭМС, ПЗС-матриц и ЖК-дисплеев, сборка плат, батарей, корпусных деталей, блоков — все эти и многие другие операции должны быть сегодня высокоавтоматизированы, они создают потребность в точных и стабильных датчиках для тестирования качества продукции и/или аудита промежуточных технологических операций.

Современная электронная промышленность и растущие объемы производства формируют спрос на датчики нового типа, представляющие собой высокоточные и интеллектуальные компоненты, гарантирующие качество изготовления и сборки на каждом этапе техпроцесса.

Компания Panasonic Electric Works выпускает ряд датчиков, разработанных специально для современных технологических линий производства электроники и удовлетворяющих всем вышеперечисленным требованиям в плане обеспечения точности, стабильности и скорости измерений в сочетании с гибкостью применения и простотой обслуживания. Инновационный подход компании основан на использовании прогрессивных технологий, а для выполнения некоторых задач предусмотрено подключение каждого из датчиков к многофункциональным блокам управления — контроллерам, выполняющим полную вычислительную обработку и ответственным за осуществление интерфейса с ПК. Гибкое сопряжение датчиков и контроллеров допускает безремонтный непрерывный контроль и экономически эффективное техническое и сервисное обслуживание. Сочетание данного подхода к измерениям и инновационные технологии датчиков (оптические, лазерные, индуктивные) гарантируют обеспечение высокоточных, высокоскоростных, стабильных измерений в любых, даже проблемных условиях.

Приобретение такого оборудования позволяет создать конкурентное превосходство на рынке и обеспечить быстрый возврат вложенных средств, а потому заслуживает особого внимания со стороны производителей электроники, тем более что выбор предложений промышленных датчиков сегодня огромен, но далеко не каждое из них способно удовлетворить все требования современного производства.

Обзор предложений датчиков Panasonic

Линейка промышленных датчиков Panasonic весьма обширна и включает продукты для автоматизации и обеспечения безопасности многих других отраслей [1]:

• фотоэлектрические датчики, срабатывающие при пересечении луча (thru-beam, излучатель и приемник разнесены в пространстве);
• ретрорефлекторные (приемник и передатчик расположены рядом, приемник принимает луч, отраженный от рефлектора);
• диффузные рефлекторные датчики (приемник и передатчик расположены рядом, приемник принимает луч, отраженный от объекта).

Фотоэлектрические датчики включают следующие группы:

• универсальные фотоэлектрические датчики;
• тригонометрические датчики;
• миниатюрные датчики;
• волоконно-оптические датчики (сенсорная головка соединяется с контроллером при помощи оптического кабеля);
• датчики меток/цвета/контраста;
• лазерные датчики.

Кроме того, выпускаются датчики следующих типов:

• индуктивные датчики;
• световые завесы и датчики для систем безопасности;
• измерительные датчики;
• датчики давления/расхода;
• датчики статического заряда;
• датчики специального назначения.

Группа датчиков, рекомендованных именно для электронной промышленности, объединяет [2]:

• миниатюрные фотоэлектрические датчики;
• волоконно-оптические датчики;
• датчики меток/цвета/контраста;
• лазерные датчики;
• индуктивные датчики;
• измерительные датчики;
• датчики специального назначения.

Акцентируем внимание на характеристиках и применениях датчиков Panasonic для автоматизации производства электроники.

Миниатюрные фотоэлектрические датчики серии EX‑30 с установкой на резьбу

Этот тип устройств разработан специально для обнаружения и измерений малых деталей. Пользователь получает в распоряжение два вида миниатюрных фотоэлектрических датчиков: датчики, срабатывающие при пересечении луча (проходного типа) и устанавливающиеся в отверстия M4, и датчики диффузного рефлекторного типа, устанавливающиеся в отверстия M6. Датчики характеризуются возможностью быстрой и простой установки, снабжены интегрированным усилителем сигнала и надежным цинковым корпусом, имеют стабильные механические свойства. Благодаря этому такие приборы широко применяются в ограниченном пространстве и в труднодоступных местах и являются альтернативой фотоэлектрическим датчикам с волоконно-оптическими кабелями (рис. 1), которые будут рассмотрены далее.

Рис. 1. Миниатюрные резьбовые фотоэлектрические датчики серии EX 30 — пример устройств для детектирования малых деталей:
а) внешний вид;
б–д) примеры использования:
б) определение высоты ИС;
в) определение количества этикеток в картридже;
г) определение выводов ИС посредством щелевой маски;
д) подтверждение факта взятия детали

Примеры использования:

• определение высоты ИС (рис. 1б);
• определение количества этикеток в картридже (рис. 1в);
• определение выводов ИС посредством щелевой маски (рис. 1г);
• подтверждение факта взятия детали (рис. 1д).

Характеристики датчиков серии EX:

• резьбовый дизайн (M4 для проходного типа и M6 отражательного типа);
• время отклика 0,5 мс;
• на 35% снижено потребление энергии;
• повышена устойчивость к окружающему свету;
• возможность регулировки чувствительности (EX‑32, EX‑33);
• индикатор на двух светодиодах;
• степень защиты IP67;
• режимы свет ON/темнота ON (EX‑33).

Например, для подтверждения факта взятия детали из контейнера (рис. 1д) невозможно установить датчик выемки другого производителя, поскольку контейнер слишком мал.

Миниатюрные фотоэлектрические датчики серии EX‑30 с резьбой имеют компактные размеры, установка и крепление датчика в отверстии предельно просты.

Серия FX‑300 — инновационные волоконно-оптические датчики

Эти оптоволоконные датчики оснащены волоконно-оптическими кабелями и разработаны специально для систем обнаружения малых предметов в ограниченном пространстве. Прежде для данного типа датчиков ухудшение параметров светоизлучающих элементов с течением времени считалось неизбежным, также вполне обычной была практика установки линз только в конец волокна. Panasonic преодолел эти недостатки при помощи новой технологии излучения наряду с включением линз непосредственно в оптоволоконный датчик. Благодаря данной технологии впервые стало возможным стабильное обнаружение в дальнем диапазоне в течение длительных периодов времени. Датчики серии FX‑300 рекомендованы для широкого круга применений в электронной промышленности (рис. 2).

Рис. 2. Серия FX 300 — инновационные волоконно-оптические датчики для систем детектирования в условиях ограниченного пространства и малых предметов:
а) внешний вид;
б–е) примеры применения:
б) контроль положения;
в) детектирование объектов;
г) оценка высоты подвижных объектов;
д) подтверждение направления движения лопасти вентилятора;
е) определение наличия деталей мобильного телефона;
ж) определение положения прозрачного контейнера

Характеристики датчиков серии FX:

• Детектирование в дальнем диапазоне стало возможным благодаря встроенным оптическим линзам.
• Функция оптической коммуникации позволяет копировать и сохранять данные (до 16 контроллеров).
• Время отклика 35 мкс (FX‑301HS).
• Количество излучаемого света является избирательным без необходимости изменения времени срабатывания.
• 4‑значный 7‑сегментный красный светодиодный дисплей и светодиодные индикаторы.
• Только два переключателя, большой поворотный переключатель и большая клавиша режима необходимы для работы.
• Напряжение питания только через один кабель для питания до 16 усилителей.
• Возможен примыкающий монтаж до четырех волоконных головок.
• Снижение интенсивности режима для прозрачных объектов.
• Компаратор с двумя выходами (FX‑305).
• Функция блокировки копирования.
• Дополнительно: настройки до 16 волоконно-оптических датчиков могут быть изменены одновременно с помощью внешних сигналов (FX-CH).
• Дополнительно: до 16 устройств ввода/вывода может быть подключено одновременно с помощью MIL-разъемов (SC).
• Дополнительно: внешняя коммуникация через интерфейс RS485 (SCGU1485).

Опции:

• Блок коммуникации SCGU1485.
• Блок выбора банка FX-CH2.
• PLC-подключение системы SC.
• Главный и вспомогательный кабели (1/2/5 м).
• Торцевые платы.

Применения датчиков серии FX‑300 (рис. 2б–ж):

• контроль положения;
• детектирование объектов;
• оценка высоты подвижных объектов;
• подтверждение направления движения лопасти вентилятора;
• определение наличия деталей мобильного телефона;
• определение положения прозрачного контейнера.

Например, задача определения наличия деталей мобильного телефона (рис. 2е, [2]) включает обнаружение небольших серебристых деталей телефона, перемещающихся на черном конвейере, имеющих размеры 5×1×0,5 мм.

У датчика FX‑301 с сенсорной головкой FD-G1 и линзой диаметр пятна составляет 0,2 мм, что позволяет стабильно обнаруживать даже небольшие детали.

Другая задача — определение положения прозрачного контейнера (рис. 2ж, [2]) — состоит в обнаружении положения прозрачных контейнеров, идущих один за другим. Когда контейнер подходит к нужному месту, он останавливается, и в него кладется деталь. Поскольку контейнеры прозрачные, обычные датчики устанавливаются по диагонали, но, несмотря на это, дают сбои в работе.

Ретрорефлекторный датчик с кабелем оборудован встроенным поляризационным фильтром в верхней части, поэтому на него не влияет отражение от прозрачных объектов и линз, находящихся перед ним. Прозрачные объекты обнаруживаются стабильно, и нет необходимости устанавливать датчик по диагонали. Кроме того, ретрорефлекторный датчик требует меньше места для установки по сравнению с датчиками проходного типа. Допускается радиус изгиба световода в 1 мм, что также позволяет экономить место.

LX‑100 — цифровой датчик метки

Серия LX — это комбинированные светодиодные датчики контраста и цвета, которые могут быть использованы в качестве как высокоскоростного датчика контраста (например, чтобы быстро и надежно обнаруживать типографские метки), так и высокоточного датчика цвета (рис. 3а).

Рис. 3. Серия LX 100 — комбинированный светодиодный датчик контраста и цвета:
а) внешний вид;
б–д) примеры применения:
б) детектирование цвета; в) детектирование отметок;
г) детектирование контраста;
д) определение наличия маркировки на компонентах

В режиме определения контраста датчик автоматически выбирает оптимальный излучающий светодиод в процессе обучения (статический или динамический метод самообучения) от передающего источника света (красный, зеленый и синий светодиоды). Благодаря времени отклика всего 45 мкс этот датчик идеально подходит для высокоскоростной обработки, например при печати. В режиме определения цвета встроенный микропроцессор с 12‑разрядным АЦП обрабатывает сигналы цвета на основе красных, зеленых и синих первичных цветовых компонентов. Это позволяет точно распознать даже самые незначительные отличия в цветах и оттенках.

Характеристики датчиков серии LX‑100:

• Три разных излучающих светодиода (красный, зеленый, синий).
• Высокоточная коаксиальная рефлективная оптическая система.
• Высокоразрешающий 12‑битный АЦП.
• 4‑разрядный цифровой дисплей.
• Режим teach-in для простой настройки (также возможно внешнее обучение).
• Функция таймера (ON/OFF-задержка).
• Два инверсных выхода (кабельного типа).
• Компактный размер.
• Тип крепления M12 или кабель.
• Класс защиты IP67.

Пример применения LX‑100 включает задачу определения наличия маркировки на компонентах переключателя (рис. 3д, [2]). Требуется проверить, нанесен ли номинал в амперах на компонент переключателя (значения в амперах могут различаться), а визуальное исследование не помогает отбраковать компоненты. В качестве синхронизирующих датчиков используются волоконно-оптические приборы FX‑301 и FT-FM2.

Датчик цветовых меток LX‑101 предназначен для определения маркировки без систем проверки изображения. LX‑101 излучает луч прямоугольного сечения, что позволяет производить стабильное обнаружение, даже если символы маркировки изменяются. Функция блокировки ограничивает операции ввода параметров, чтобы предотвратить случайное изменение настроек.

LS‑400 — лазерные датчики общего назначения

Прецизионные датчики серии LS (рис. 4) состоят из сенсорной головки (четыре типа) и контроллера. Рабочий диапазон от 30 мм до 7 м.

Рис. 4. Лазерные датчики LS 400:
а) внешний вид;
б) проверка размеров объектов;
в) позиционирование;
г) определение уровня жидкости в стеклянной трубе методом отраженного света;
д) обнаружение боковой поверхности USB-памяти по наличию отверстия на разъеме;
е) обнаружение наличия буклета в футляре для DVD

LS-H91 — рефлекторный датчик с диаметром пятна 1–1,5 мм. LS-H21 — диффузный рефлективный датчик с диаметром 0,2–1 мм. LS-H22 — диффузный рефлективный датчик с геометрической характеристикой линии 30–200 мм.

В серии LS датчики объединены с контроллером. Поворотный переключатель и клавиша режима позволяют удобно программировать все функции контроллера; программирование легко осуществимо с применением двойных, двухцветных, 4‑разрядных ЖК-дисплеев и нескольких LED-дисплеев. В серии LS есть возможность корректировать динамический диапазон чувствительности приемника, чтобы предотвратить перенасыщение интенсивностью отраженного света (например, прозрачные объекты в случае отражающих световых барьеров или блестящие предметы в случае рефлективных датчиков).

Характеристики контроллера:

• Двойной 4‑разрядный дисплей для значений тока и порогов.
• Клавиша режима и поворотный переключатель для простой настройки.
• Время отклика 80 мкс (max).
• Четыре режима вывода.
• Таймер.
• Предотвращение перекрестных помех.
• Внешнее обучение teach-in (кабельного типа).
• Функция блокировки кнопок.
• Внешнее выключение лазерного луча.
• Возможен Side-by-Side-монтаж серии FX-300
• Кабельный или разъемный тип соединителя.

Серия LS особенно рекомендована для мониторинга или обнаружения очень мелких объектов на транспортере, для контроля размеров объектов и мониторинга положения краев в промышленном производстве.

Применения серии LS (рис. 4б–е):

• проверка размеров объектов;
• позиционирование;
• определение уровня жидкости в стеклянной трубе методом отраженного света;
• обнаружение боковой поверхности USB-памяти по наличию отверстия на разъеме;
• обнаружение наличия буклета в футляре для DVD.

Индуктивные аналоговые датчики серии GP-Х (контроллеры с индуктивными сенсорными головками)

Индуктивные датчики смещения серии GP-X используют метод вихревых токов. Их важнейшие характеристики включают высокую точность измерений, разрешение 0,02% полного диапазона в сочетании с минимальной нелинейностью, высокой частотой порядка 40 кГц и низкой температурной зависимостью.

Датчики GP-X рекомендованы для высокоточного контроля движения и расстояния металлических предметов в жестких промышленных средах.

Устройства серии GP-X представляют собой контроллеры с индуктивными сенсорными головками (рис. 5).

Рис. 5. Индуктивные датчики серии GP-Х — контроллеры с индуктивными сенсорными головками:
а) внешний вид;
б–д) примеры использования:
б) определение положения;
в) измерение эксцентриситета;
г) измерение расстояния;
д) измерение высоты

Характеристики контроллера:

• Высокая частота 40 кГц.
• Разрешение 0,02% полного диапазона.
• Ошибка линейности — 0,3% полного диапазона максимум.
• Температурная зависимость — максимум ±0,07% полного диапазона/°C.
• Яркий, двухцветный ЖК-дисплей.
• Выбор материалов (алюминий, сталь, чугун).
• Четыре режима измерений (избирательно).
• Функция предотвращения перекрестных помех.
• Компенсация смещения и функции масштабирования.
• Входная синхронизация и выходной сигнал тревоги.
• Регулируемое предельное значение с транзисторного выхода.

Всего пять разных моделей доступны для различных применений, с диапазоном чувствительности от 0,8 до 10 мм: три сенсорные головки цилиндрического типа (диаметром 3,8; 5,4 или 8 мм) и три резьбовые головки датчиков.

Примеры использования: определение положения; измерение эксцентриситета, расстояния и высоты. Так, после установки держателя батарей таблеточного типа обнаруживаются смещения и наклоны (рис. 5д, [2]). Решение состоит в применении вместо датчиков других производителей устройств серии GP-Х. Для обнаружения малых отличий в высоте используются контроллер и специальные приспособления.

Компактные размеры контроллера (48×48×99,7 мм) позволяют экономить место. Контроллер оснащен цифровой панелью, 2‑цветный ЖК-дисплей позволяет устанавливать значения и проверять установки для каждого режима работы. Если результаты измерения находятся за пределами определенного диапазона (HI, LO), они будут отображаться на верхнем дисплее оранжевым цветом, в другом случае, если они находятся в указанных пределах (GO), они будут отображаться зеленым. Результаты измерений можно видеть на расстоянии. Возможность выбора высоты обнаружения упрощает настройку.

Лазерный датчик смещения HL-C1 и контроллер HL-C1CM — мощное решение для тестирования

Лазерный датчик смещения HL-C1 (рис. 6) — устройство рефлекторного типа, предназначенное для точного оптического контроля процессов производства и сборки и рекомендованное для использования практически во всех областях промышленности — от производства шин до изготовления полупроводников (подложек, печатных плат). Лазерный датчик HL-C1 является устройством наивысшего уровня в своем классе, которое обеспечивает стабильные и устойчивые результаты даже при определении параметров таких сложно детектируемых оптическими методами объектов, как черная резина или блестящие предметы. Уникальная конструкция оптической системы, уникальный метод работы и высокоскоростная технология семплирования — все это позволяет при помощи данного устройства измерять параметры разнообразных объектов с высокой точностью и стабильностью на ультравысоких скоростях.

Рис. 6. Лазерный датчик перемещений HL-C1 с контроллером HL-C1CM:
а) внешний вид датчика;
б–к) примеры использования:
б) измерение толщины;
в) проверка эксцентриситета;
г) проверка сварного шва;
д) проверка печатной платы на изгиб;
е) измерение амплитуды колебаний диффузора динамика;
ж) определение положения ПЗС-матрицы; з) измерение параллельности шасси;
и) измерение толщины нижней пластины отсека батареи;
к) установка диапазона измерения параметров ЖК-дисплеев

Лазерный датчик HL-C1 имеет следующие характеристики:

• Разрешение до 1 мкм, независимо от частоты дискретизации.
• Частота дискретизации до 10 кГц.
• Не влияет цвет поверхности или состояние объекта.
• Аналоговый токовый выход типа 4–20 мА.
• Ошибка линейности — максимум 0,2% полной шкалы.
• Компактный дизайн.

Для датчика HL-C1 разработан специальный контроллер HL-C1CM — компактный многофункциональный блок управления с сенсорной панелью, рассчитанный на одновременное подключение двух головок датчиков. Контроллер выполняет обработку результатов показаний двух датчиков и используется, например, для измерения толщины или разницы. Все настройки и результаты передаются через интерфейс RS‑232 на обычный ПК. Гибкое сочетание контроллера и головок датчиков обеспечивает экономически эффективное сервисное и техническое обслуживание.

Например, даже при переналадке производства, то есть когда изменяется измеряемое расстояние, должна быть заменена только головка датчика. Компактные сенсорные панели контроллера позволяют удобно производить настройки и отображают данные.

Типичные задачи, решаемые посредством HL-C1 в электронной промышленности:

• Проверка печатной платы на изгиб.
• Измерение амплитуды колебаний диффузора динамика.
• Определение положения ПЗС-матрицы.
• Измерение параллельности шасси.
• Измерение толщины нижней пластины отсека батареи.
• Установка диапазона измерения параметров ЖК-дисплея.

Так, при проверке печатной платы на изгиб в технологическом процессе измеряется расстояние до обеих сторон движущейся платы. Преимущество использования датчиков HL-C1 состоит в возможности высокоскоростного измерения расстояния до движущегося объекта с интервалом 100 мкс.

Для измерения изгиба рекомендовано применение двух версий датчика HL-C108B-BK и контроллера HL-C1CM. Контроллер
HL-C1CM оборудован двумя раздельными входными/выходными каналами, и к нему можно подключить две сенсорные головки. Такое решение позволяет снизить производственные затраты и сэкономить место, которое занял бы второй контроллер, если бы потребовалось два автономных датчика.

В задаче контроля параметров ЖК-дисплея проверке подлежат примерно по 10 точек на каждом ЖК-дисплее, для чего применяется механизм исследования матрицы ЖК-дисплея с движущейся камерой. В зависимости от прогиба поверхности ЖК-дисплея высота камеры над объектом изменяется и ее следует регулировать. Функцию контроля высоты выполняет лазерный датчик HL-C105B, который устанавливается таким образом, чтобы перемещаться вместе с камерой, и прекрасно справляется с измерениями отражающих или полупрозрачных объектов.

Благодаря высокой скорости измерения HL-C1 может оперативно посылать данные в блок управления, что позволяет быстро регулировать положение камеры в зависимости от неровности ЖК-дисплея, тем самым сокращая общее время выполнения данной контрольной операции.

Подключение к контроллеру HL-C1CM, оснащенному разъемом RS‑232C, позволяет при необходимости легко закачивать данные в ПК.

HL-T1 — миниатюрный лазерный датчик с высоким разрешением, срабатывающий при пересечении луча (thru-beam)

HL-T1 (рис. 7) — миниатюрный лазерный датчик проходного типа, характеризующийся очень высоким разрешением. Разработаны три вида датчика:

• HL-T1001A с диаметром лазерного луча в 1 мм, который способен обнаружить объект от 8 мкм в диаметре на расстоянии 500 мм между приемником и передатчиком.
• HL-T1005A и HL-T1010A с лазерным коллиматором, который выдает световой занавес шириной 5 мм или 10 мм соответственно. Красный полупроводниковый светодиод, принадлежащий лазерному классу 1, делает возможным использование HL-T1 без каких-либо требований безопасности.

Рис. 7. HL-T1 — миниатюрный высокоразрешающий лазерный датчик, срабатывающий на пересечение луча (thru-beam типа):
а) внешний вид;
б–е) примеры применения:
б) измерение ширины листа/контроль непрозрачности стекла;
в) контроль положения кристаллов;
г) обнаружение местоположения дефектного фрейма;
д) контроль зазора;
е) обнаружение изгиба штырей соединителей

Характеристики датчиков:

• Разрешение 4 мкм (max).
• Красный полупроводниковый диодный излучатель принадлежит к классу лазеров 1.
• Диапазон чувствительности до 2 м (HL-T1001A).
• Минимальный объект измерения диаметром 8 мкм (HL-T1001A).
• Компактный дизайн.

С любой сенсорной головкой HL-T1 может использоваться интеллектуальный компактный контроллер HL-AC1, который отличается гибкостью в применении в процессе технического и сервисного обслуживания. Подключение вычислительного модуля (опционально) между двумя контроллерами позволяет производить сложение и вычитание измеренных значений для двух датчиков.

Характеристики контроллера:

• Регулируемое аналоговое напряжение или аналоговый ток.
• Масштабирование.
• Регулировка нуля и смещение нулевой точки.
• Выход для обучения.
• Таймер (задержка ON/OFF).
• Предотвращение взаимной интерференции (HL-AC1‑CL).
• Вычислительный блок HL-AC1‑CL (опционально).

Примеры применения:

• контроль положения кристаллов;
• обнаружение местоположения дефектного фрейма;
• контроль зазора;
• обнаружение изгиба штырей соединителей.

HL-T1 — пример лазерного датчика, предназначенного для установки в труднодоступном месте и имеющего малые размеры. Предназначен для измерения ширины зазора (рис. 6д, [2]), в частности, способен измерить зазор между кольцом и корпусом тонера для проверки качества установки непосредственно в процессе установки колец.

В настоящее время визуальная проверка с помощью измерителя зазора, которую выполняют рабочие, уже не отвечает требованиям современного производства в плане скорости и качества обработки данных измерений, которые может предоставить автоматизация этого процесса. Кроме того, для осуществления подобной задачи предпочтительны датчики, предназначенные для установки в труднодоступном месте.

Датчик HL-T1010A вместе с контроллером позволяет решить задачу измерений, поскольку обладает наименьшими размерами (излучатель — 42×20×20 мм, приемник — 25×20×20 мм), что экономит место. Одновременно устройство гарантирует простоту в обслуживании, так как не нужно обслуживать сенсорную головку и контроллер одновременно. При повреждении сенсорной головки достаточно просто извлечь ее.

Датчик светодиодного типа для выравнивания центровки пластин

Серия HD-T1 представляет собой датчик, предназначенный для центровки подложек (рис. 8). В качестве источника света применен красный светодиод, но разрешение составляет 30 мкм, как у лазерных датчиков. Прибор лучше всего подходит для выявления эксцентриситета пластины, обнаружения выемки и детектирования плоскостей ориентации. Благодаря современной методике измерения и высокоскоростной технологии семплирования можно измерять параметры объектов с высокой точностью на ультравысоких скоростях. Этот датчик может использоваться практически во всех областях промышленности, например для производства шин или полупроводников (пластин печатных плат).

Рис. 8. Серия HD-T1 — датчик светодиодного типа для выравнивания/центровки пластин:
а) внешний вид;
б) пример использования — определение эксцентриситета и зарубок

Характеристики датчиков серии HD-T1:

• Не требуются меры предосторожности.
• Высокое разрешение 30 мкм.
• Простота установки.
• Нет необходимости выравнивания оси луча.
• Малый потребляемый ток 70 мА или меньше.

Применения включают определение эксцентриситета и зарубок (рис. 8б).

Заключение

Инновационные и интеллектуальные датчики Panasonic вкупе с контроллерами обеспечивают точные, стабильные измерения, в том числе дифференциальные, в стандартных и сложных условиях производства электроники. Имеется широкий ассортимент датчиков Panasonic, которые предназначены для контроля миниатюрных или сложно измеряемых деталей, установки в труднодоступных местах, работы в жестких средах и адаптированы к условиям высокоскоростных измерений, контроля данных измерений, выборки/отбраковки партий.

Инновационный подход к измерениям, продемонстрированный компанией Panasonic, состоящий в применении передовых технологий и решений по сопряжению датчиков с контроллерами, высокая производительность и качество измерений, великолепное соотношение цена/качество, репутация бренда Panasonic в сочетании со скоростью поставок и технической поддержкой — все это предоставляет еще одну возможность для развития инновационного электронного бизнеса.