Новые многофункциональные МЭМС-датчики движения производства STMicroelectronics
Одним из бурно развивающихся направлений современной электроники является производство микроэлектромеханических систем МЭМС (Microelectromechanical systems — MEMS) в составе датчиков, предназначенных для контроля параметров движения, — акселерометров, гироскопов, а также их различных комбинаций с магнитометрами. Статья посвящена новым моделям МЭМС-датчиков движения производства STM. Журнал "Компоненты и технологии №10-2015