Эволюция МЭМС-продуктов компании Analog Devices и современные инерциальные измерительные модули iSensor

В статье представлен обзор МЭМС-датчиков компании Analog Devices, эволюционировавших от самых первых продуктов для систем автомобильной безопасности до современного поколения инерциальных модулей iSensor. Журнал "Компоненты и технологии №5-2015