отправка...Тепловые МЭМС-датчики расхода Omron.
Обзор технологии, продуктов и применений
Цель статьи — ознакомить читателей с широкой линейкой и высоким уровнем характеристик МЭМС-датчиков массового расхода, скорости потока и дифференциального давления от компании Omron. Данная группа датчиков расхода Omron основана на одной и той же высокочувствительной термоанемометрической технологии, реализованной на одном кристалле в виде комбинации МЭМС-структуры и тонких пленок. МЭМС-кристал... Журнал "Компоненты и технологии №8-2014